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1200℃-CVD梯度管式爐

簡(jiǎn)要描述:【產(chǎn)品名稱(chēng)】1200℃-CVD梯度管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm+300mm
【額定溫度】1200℃
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來(lái)沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

  • 產(chǎn)品型號(hào):STGCT-60-12
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2023-11-16
  • 訪  問(wèn)  量:1062

詳細(xì)介紹

品牌三特爐業(yè)升溫速度(達(dá)到最高溫)90/min
加熱方式電阻式控溫精度±1℃
最高溫度1200℃價(jià)格區(qū)間面議
儀器種類(lèi)管式爐產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合
商品描述

【產(chǎn)品名稱(chēng)】1200℃-CVD梯度管式爐

【爐管尺寸】φ25--φ120mm

【加熱區(qū)】300mm+300mm 

【額定溫度】1200℃

【控溫精度】±1℃ 

【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來(lái)沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。


1200℃-CVD梯度管式爐是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中用來(lái)沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

爐外殼

1、外殼采用金屬Q235低碳鋼,表面靜電耐藥涂裝,抗腐蝕

2 堅(jiān)固的雙層金屬框架配合隔熱風(fēng)扇結(jié)構(gòu),爐表面溫度低

3、水平使用方式,上開(kāi)蓋結(jié)構(gòu),操作方便

耐火材料

多層隔熱設(shè)計(jì),由輕質(zhì)氧化鋁陶瓷纖維和高品質(zhì)隔熱板背襯組成,不含石棉成分,熱損失小,能耗低

加熱系統(tǒng)    

1、高品質(zhì)HRE螺旋電阻絲發(fā)熱體,牢固的鑲嵌在爐膛表面在爐腔內(nèi)自由熱輻射加熱,使用壽命長(zhǎng)

2、電阻絲環(huán)形加熱,從而實(shí)現(xiàn)爐內(nèi)的良好均勻性

溫度控制面板

1、PID配合SSR控制方式,溫度控制準(zhǔn)確

2、國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)化N型鎳鉻硅熱電偶,測(cè)溫范圍0-1300℃,使用壽命長(zhǎng)

3、爐門(mén)帶有開(kāi)門(mén)斷電保護(hù)開(kāi)關(guān)

程序控制器

1、適應(yīng)復(fù)雜工藝需求的的控制器

2、操作簡(jiǎn)單直接,編程靈活

3、可編程4條曲線,單條曲線8個(gè)程序段

4、超溫和故障報(bào)警,自動(dòng)進(jìn)行保護(hù)

真空氣氛功能

1、帶有304不銹鋼的密封法蘭,獲得爐管內(nèi)的真空或者氣氛

2、高品質(zhì)石英玻璃工作管,也可選擇金屬或剛玉材質(zhì)的工作管,從而適應(yīng)不同的工況

3、高性能雙極旋片真空泵,可獲得5pa的真空度,數(shù)字真空計(jì)可顯示真空度

4、帶有氣路控制單元,控制單元可選擇1-3MFC自動(dòng)控制系統(tǒng)

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