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1700℃-CVD管式爐

簡要描述:【產(chǎn)品名稱】1700℃-CVD管式爐
【爐管尺寸】φ25--φ120mm
【加熱區(qū)】300mm
【額定溫度】1700℃
【控溫精度】±1℃
【應(yīng)用領(lǐng)域】化學(xué)氣相沉積(CVD)是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

  • 產(chǎn)品型號:STGC-60-17
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2023-11-16
  • 訪  問  量:1001

詳細(xì)介紹

品牌三特爐業(yè)升溫速度(達(dá)到最高溫)90/min
加熱方式電阻式控溫精度±1℃
最高溫度1700℃價格區(qū)間面議
儀器種類管式爐產(chǎn)地類別國產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域綜合
商品描述

【產(chǎn)品名稱】1700℃-CVD管式爐

【爐管尺寸】φ25--φ120mm

【加熱區(qū)】300mm 

【額定溫度】1700℃

【控溫精度】±1℃ 

【應(yīng)用領(lǐng)域】1700℃-CVD管式爐是指化學(xué)氣體或蒸汽在基質(zhì)表面反應(yīng)合成涂層或納米材料的方法,是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用最為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù),包括大范圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。


一、 產(chǎn)品描述

   系列產(chǎn)品主要針對在真空或者保護(hù)氣氛下對樣品的熱處理,優(yōu)質(zhì)的爐膛材料和穩(wěn)定的溫度控制系統(tǒng),可保證實驗數(shù)據(jù)的可靠性;產(chǎn)品采用新型陶瓷纖維材料作為爐膛材料,爐管材質(zhì)優(yōu)良,爐管兩端不銹鋼法蘭密封,可在真空下工作,法蘭上有進(jìn)氣口和出氣口,可通入保護(hù)氣體,精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量。

二、產(chǎn)品特點

1、 爐膛材料選用高純氧化鋁陶瓷纖維材料,新型拼裝結(jié)構(gòu),高溫不變形、堅固耐用

2、 發(fā)熱體采用硅鉬棒,可承受負(fù)荷大,穩(wěn)定且使用壽命長

3、 爐管采用石英管,兩端不銹鋼法蘭設(shè)計簡單、合理、易拆卸,方便進(jìn)出被燒結(jié)樣品

4、 升溫速度快,從室溫升到1700攝氏度,一般需要100分鐘

5、 采用智能PID溫控儀表,控溫精度高,沖溫小,具有溫度補償和溫度校正功能,精度為±1℃

6、 控溫儀表具有程序功能,可設(shè)定升溫曲線,可編程序30段

7、 一體式結(jié)構(gòu),出色的外觀設(shè)計,美觀、大方

8、 電子元器件均采用德力西產(chǎn)品,帶有漏電保護(hù)功能

9、 本機對工作過程中的超溫會發(fā)出報警信號,并自動完成保護(hù)動作

10、當(dāng)儀表程序設(shè)定完成后,只要按下運行按鈕,接下來的工作會自動完成

11、可選配大屏幕無紙記錄儀,實現(xiàn)對升溫曲線的實時記錄,并帶有存儲卡可對實驗數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和打印

12、可選配氣體質(zhì)量流量計,通入氣體可數(shù)字精確控制

型號

STGC-25-17

STGC-40-17

STGC-60-17

STGC-80-17

STGC-100-17

STGC-120-17

爐管尺寸

Φ25 x 900mm

Φ40 x 900mm

Φ60 x 900mm

Φ80 x 900mm

Φ100 x 900mm

Φ120 x 900mm

額定溫度

1700℃

工作溫度

1600℃

加熱區(qū)尺寸

300mm

電源電壓

220V/2KW

220V/3KW

220V/4KW

220V/5KW

220V/5KW

220V/8KW

加熱元件

U型硅鉬棒

爐膛材料

濕法真空抽濾成型制備的多晶無機氧化鋁陶瓷纖維材料

爐管材料

剛玉管

控溫精度

±1

測溫元件

B型鉑銠熱電偶

溫控儀表

智能微電腦PID溫控儀表,SCR/SSR控制,PID參數(shù)自整定功能;可編程序30個時段,程序升溫、程序保溫、程序降溫

升溫速度

1-15℃/min自由調(diào)節(jié)

爐體結(jié)構(gòu)

爐膛溫控一體式結(jié)構(gòu),雙層外殼,空氣循環(huán)隔熱

密封性能

爐管兩端裝有不銹鋼金屬法蘭,配套高溫 PTFE 墊圈,可在真空下進(jìn)行工作, 密封真空度≤0.0001pa

氣氛性能

法蘭兩端有進(jìn)氣口和出氣口,壓力表裝在金屬法蘭上,精密針型閥可調(diào)節(jié)進(jìn)氣和出氣量,可通入氮氣、氬氣、氫氣等保護(hù)氣體

真空獲得

配套獨立的真空獲得系統(tǒng),系統(tǒng)內(nèi)配有1臺雙極旋片式真空泵和數(shù)字真空計,包括不銹鋼波紋管和擋板閥等組件,系統(tǒng)真空度5pa,還可以選擇分子泵機組

氣路系統(tǒng)

配套獨立的氣路系統(tǒng),系統(tǒng)有三路浮子流量計組成,有混氣室,可單進(jìn)單出也可三路氣體混氣后進(jìn)入管式爐系統(tǒng),浮子流量計量程:60-600ml/min;也可選擇自動質(zhì)量流量計系統(tǒng),控制精度±1.5%FS,重復(fù)精度±0.2%FS,量程:一路0-100SCCM,二路0-200SCCM,三路0-500SCCM

設(shè)備保護(hù)

模塊化控制,對工作過程中的超溫、斷偶會發(fā)出聲光報警信號,并自動完成保護(hù)動作

人員保護(hù)

在設(shè)備上裝有空開斷路器,如發(fā)生短路漏電情況時會自動彈開,能保護(hù)設(shè)備和操作人員

外殼

優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板數(shù)控機床下料加工,經(jīng)過焊接、打磨、拋光、磷化、酸洗、表面靜電噴涂塑粉

質(zhì)量認(rèn)證

ISO9001   CE    SGS   TUV

標(biāo)準(zhǔn)配置

1、爐體一臺  2、溫度控制器一臺   3、電源線3米   4、熱電偶一支  5、說明書一份  

6、爐鉤一把  7、高溫手套一雙    8、管堵二個   9、密封法蘭一套


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